Першим деканом нового факультету протягом 1962–1974 р.р. був к.т.н., проф. Трубенок Олександр Давидович (1923–2001 р.р.), який віддав багато сил для його організації та розвитку і водночас очолив кафедру приладів точної механіки.
У 1963 р. відбувся перший випуск спеціалістів із приладобудування. У 1968 р. на факультеті, що тоді займав верхні поверхи навчального корпусу №12, була відкрита нова кафедра – «Технологія приладобудування», яка забезпечувала навчальний процес із технологічної підготовки фахівців для приладобудівного та радіотехнічного факультетів.
Спочатку факультет у складі чотирьох кафедр мав лише 18 викладачів, серед яких тільки близько половини були доцентами, хоча на кожному курсі вже навчалося по 7 академічних груп студентів. У цей час для читання курсів лекцій зі спеціальних дисциплін запрошувалися провідні фахівці у галузі приладобудування з відомих приладобудівних підприємств, наукових установ і закладів освіти Києва, а також професори з навчальних закладів Москви і Ленінграда.
Вагомий внесок у подальше становлення навчального процесу і розвиток наукових досліджень на факультеті зробив заслужений працівник Вищої школи УРСР, лауреат Державної премії України, академік Академії інженерних наук (АІН) України, дійсний член багатьох міжнародних товариств і академій, д.т.н., проф. Остаф’єв Володимир Олександрович – декан, який очолював факультет у 1974–1995 р.р. і одночасно був завідувачем кафедри «Технологія приладобудування».
На той час у штаті факультету вже налічувалось 5 д.т.н., професорів та 37 к.т.н., доцентів; навчалося близько 1100 студентів денної і 360 – вечірньої та заочної форм навчання. Тоді ж сформувалась орієнтація факультету на зближення кафедр із виробництвом та науково-проектними організаціями. Були створені філії кафедр на ВО «Завод «Арсенал», ВО ім. Артема, НВО «Квант», НВО «Гідроприлад», у проектному інституті «Аналітприлад», Інституті фізики Національної Академії наук (НАН) України, та ін.
Значно розширилися міжнародні зв’язки факультету. На основі міжвузівських договорів і довгострокових угод про співробітництво, з Німеччиною, Болгарією та Польщею було організовано міждержавний обмін викладачами для підвищення їх кваліфікації і наукового стажування, а також обмін студентами для навчання або проходження виробничої практики. Провідні викладачі факультету запрошувалися для читання лекцій зі спецкурсів до відомих навчальних закладів Канади, США, Куби, Японії, Болгарії, Алжиру.
У 1995–2000 р.р. на посаді декана працював завідувач кафедри технології приладобудування, вчений секретар НТУУ «КПІ», заслужений працівник Вищої школи України, академік АІН України, д.т.н., проф. Румбешта Валентин Олександрович.
Враховуючи сучасні вимоги щодо розвитку приладобудівної галузі та потреби України, кафедри входять до складу діючих спеціальностей, нових важливих спеціалізацій, серед яких: засоби вимірювання витрат енергоносіїв; прилади і системи екологічного моніторингу навколишнього середовища; прилади і засоби медичної діагностики; комп’ютерні технології проектування приладів і систем орієнтації та навігації; оптичні медично-біологічні прилади; комп’ютеризація та менеджмент виробництва приладів; інтелектуальні виробничі системи у приладобудуванні. На факультеті створено НДІ перспективних технологій, а також Науково-інженерний центр міждисциплінарних досліджень, спрямований на створення спеціалізованих комп’ютерних систем автоматизованого проектування приладів і технологічної підготовки їх виробництва.
У 2000 р. деканом факультету обрано його колишнього випускника, а на той час – завідувача кафедри «Технологія приладобудування» (зараз кафедра «Виробництва приладів»), академіка АІН України, д.т.н., проф. Тимчика Григорія Семеновича, фахівця у галузі лазерних оптико-електронних систем та технологій їх виробництва.