| | Вісник НТУУ "КПІ" - Випуск №50 | |

Золотарев Е. А., Бондарь П. М.
УЧЕТ АНИЗОТРОПИИ МАТЕРИАЛА УПРУГОГО ПОДВЕСА АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
загрузить (стр. 35-40)
УДК 531.768
Приведены результаты моделирования напряженно деформированного состояния подвеса при действии ускорения на чувствительный элемент микроакселерометра на поверхностных акустических волнах с кварцевой трапецеидальной консолью. Исследованы основные формы собственных колебаний чувствительного элемента с учетом анизотропии материала для ST и YX срезов кварца. Представлена математическая модель для вычисления упругих характеристик кристалла кварца в произвольном направлении. Показана существенная зависимость относительного удлинения оппозитных поверхностей подвеса от типа среза кварца. Моделирование проведено в программном пакете Comsol Multiphysics 4.3b. Полученные результаты могут применяться для оценки чувствительности и определения полосы пропускания микроакселерометра.
Ключевые слова:чувствительный элемент, модуль Юнга, относительное удлинение поверхности, анизотропия, кварц, матрицы жесткости

Вісник №50

03056, м. Київ-56, пр. Перемоги, 37.
© НТУУ “КПІ”, 2015