| | Друковані статті Бондаря П.М. | |

Учет анизотропии материала упругого подвеса акселерометра на поверхностных акустических волнах

Авторы: Золотарев Е. А., Бондарь П. М.
Приведены результаты моделирования напряженно деформированного состояния подвеса при действии ускорения на чувствительный элемент микроакселерометра на поверхностных акустических волнах с кварцевой трапецеидальной консолью. Исследованы основные формы собственных колебаний чувствительного элемента с учетом анизотропии материала для ST и YX срезов кварца. Представлена математическая модель для вычисления упругих характеристик кристалла кварца в произвольном направлении. Показана существенная зависимость относительного удлинения оппозитных поверхностей подвеса от типа среза кварца. Моделирование проведено в программном пакете Comsol Multiphysics 4.3b. Полученные результаты могут применяться для оценки чувствительности и определения полосы пропускания микроакселерометра.
Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування
Рік видання: 2015
Номер: 50
УДК: 681.121
С. 35—40.

Мікромеханічний гіроскоп як вимірювач лінійних прискорень та кутових швидкостей

Автори: Борейко А. В., Чередниченко К. В., Бондар П. М..
Проаналізована можливість одночасного одержання інформації про лінійне прискорення та кутову швидкість рухомого об'єкта за допомогою мікромеханічного гіроскопа з диферен-ціальним виходом, використовуючи пристрої віднімання та додавання сигналів. Описується структура та основні характеристики мультисенсорного мікромеханічного датчика. Проведе-но аналіз динамічних похибок вимірювання прискорення. Показано, що похибка вимірюван-ня лінійного прискорення містить дві складові: перша – динамічна та друга, обумовлена обертанням основи, а також лінійним прискоренням, що діє в напрямку первинних коливань. Проведений аналіз діапазонів вимірювання прискорення та кутової швидкості підтверджує можливість використання таких датчиків на маневрених об'єктах. Показано, що відношення коефіцієнтів передачі по кутової швидкості і прискоренню істотно залежить від амплітуди і частоти первинних коливань.
Ключові слова: мікромеханічний гіроскоп, мультисенсорний мікромеханічний датчик, чут-ливий елемент, динамічні похибки, кутова швидкість, лінійне прискорення.
Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування
Рік видання: 2015
Номер: 49
УДК: 681.121
С. 20—25.


Головна сторінка